- Под заказ
Цена по запросу
Пропускная способность ≥300mm2 /min при≤50mj/cm2
Точность сшивания ±200nm
Суммарная погрешность ±500nm на сетке 130mmx130mm
Точность сетки дат 60nm
МАКСИМАЛЬНАЯ экспозиция 190X190mm
Источник света LD 375nm
Мощность источника света 6W
Энергетическая однородность ≥95%
Время работы 10000hr
Характеристики