Устройство для нанесения покрытий методом термического испарения в сверхвысоком вакууме с четырьмя источниками нагрева

Установка для термического напыления в сверхвысоком вакууме оснащена 4 испарительными нагревательными лодками, каждая из которых может использоваться для самостоятельного нанесения испарительного покрытия.Над нагревательной лодкой имеется поворотная перегородка. Когда работает одна из нагревательных камер, перегородка закрывает три другие вольфрамовые камеры, чтобы предотвратить загрязнение материалов для осаждения из паровой фазы.Если изменить частичную конфигурацию, то можно получить испаряющееся покрытие из органического материала, которое может соответствовать исследовательским требованиям светоизлучающего устройства и органической солнечной батареи, и это экспериментальное устройство с идеальным эффектом покрытия и высокой стоимостью.