Программируемый однокамерный магнетронный распылитель покрытий

Программируемый однокамерный магнетронный распылитель представляет собой однокамерную конструкцию, в основном состоящую из вакуумной камеры для распыления, мишени для магнетронного распыления, ионной бомбардировки, вращающейся подложки, оптической системы нагрева, источника питания для распыления, тракта подачи рабочего газа, системы сбора вакуума, установочной машины, измерения вакуума, водяного охлаждения, системы сигнализации и управленияи так далее.

Система управляется IPC и PLC с двумя режимами автоматического и ручного управления. Помимо ввода образца, все остальные процессы реализуются на сенсорном экране. Он обеспечивает интерфейс управления человеком и машиной, такой как вакуумная система, настройка процесса распыления, система наполнения и вентиляции и т.д. В IPC вы можете задать параметры с помощью формулы, чтобы реализовать процесс процедуры и настройки параметров оборудования.