Устройство для нанесения радиочастотного магнетронного напыления с одной мишенью

Оборудование для нанесения покрытий магнетронным напылением - это специальный лабораторный прибор для нанесения покрытий, разработанный нашей компанией. Оборудование может быть оснащено источником постоянного тока и высокочастотным источником питания. Мощность составляет от 500 до 1000 Вт. Его можно использовать для получения однослойных или многослойных сегнетоэлектрических тонких пленок, проводящих пленок, пленок из сплавов, полупроводниковых пленок, керамических пленок, диэлектрических пленок, оптических пленок и т.д.

По сравнению с обычным плазменным напылением, магнетронное напыление обладает преимуществами высокой энергии, высокой скорости, высокой скорости осаждения и низкого повышения температуры образца. Мишень магнетрона оснащена промежуточным слоем с водяным охлаждением. Охладитель воды может эффективно отводить тепло и предотвращать его накопление на обрабатываемой поверхности, благодаря чему магнетронное покрытие может стабильно работать в течение длительного времени.