Устройство для нанесения покрытия с помощью магнетрона постоянного тока с тремя мишенями

Оборудование для нанесения покрытий с помощью магнетрона постоянного тока - это специальная лабораторная машина для нанесения покрытий, разработанная нашей компанией. Оборудование для нанесения покрытий с помощью магнетрона постоянного тока Three targets может быть оснащено источником постоянного тока и радиочастотным источником питания. Мощность составляет от 500 до 1000 Вт. Его можно использовать для получения однослойных или многослойных сегнетоэлектрических тонких пленок, проводящих пленок, пленок из сплавов, полупроводниковых пленок, керамических пленок, диэлектрических пленок, оптических пленок и т.д.

По сравнению с обычным плазменным распылением, магнетронное распыление обладает преимуществами высокой энергии, высокой скорости, высокой скорости осаждения и низкого повышения температуры образца. Мишень магнетрона оснащена промежуточным слоем с водяным охлаждением. Охладитель воды может эффективно отводить тепло и предотвращать его накопление на обрабатываемой поверхности, благодаря чему магнетронное покрытие может стабильно работать в течение длительного времени.