3-дюймовый магнетронный распылитель с тремя мишенями для нанесения покрытия

Трехцелевой магнетронный распылитель - это экономичное оборудование для нанесения покрытий, независимо разработанное нашей компанией; оно отличается стандартизацией, модульностью и индивидуализацией. Три 3-дюймовые мишени для магнетронного распыления, одна из которых является магнитной мишенью высокой интенсивности, две - постоянной мишенью; источником питания являются два источника постоянного тока мощностью 500 Вт и один радиочастотный источник питания мощностью 300 Вт, источник постоянного тока можно использовать при изготовлении металлической пленки, а радиочастотный источник питания можно использовать в приготовление неметаллической пленки, три мишени которой могут удовлетворить потребности в многослойном или многократном покрытии.

Оборудование для нанесения покрытий с помощью магнетронного распыления на три мишени оснащено двумя высокоточными массовыми расходомерами. Если у заказчика есть дополнительные требования, можно настроить до четырех газовых трактов в соответствии с требованиями сложной газовой среды. Прибор оснащен усовершенствованными турбомолекулярными насосами, обеспечивающими максимальный вакуум до 1,0-5 Па, в то время как другие типы молекулярных насосов доступны для покупки. Газовый тракт молекулярного насоса управляется несколькими электромагнитными клапанами, которые могут открывать камеру для отбора проб без выключения насоса и значительно повышать эффективность вашей работы. Продукт может быть оснащен встроенным промышленным управляющим компьютером для управления системой, большинство функций, таких как управление группой вакуумных насосов и источником питания для распыления, могут быть реализованы в компьютерной программе, что еще больше повысит эффективность вашего эксперимента.