Устройство для нанесения магнетронного покрытия с двойной мишенью и переходной камерой

Устройство для нанесения магнетронного напыления с двумя мишенями оснащено двумя магнетронными мишенями и двумя комплектами источников питания постоянного тока, которые могут использоваться для нанесения многослойных проводящих металлических пленок. В то же время оборудование состоит из двух частей: основной камеры и переходной камеры. Переходная камера оснащена магнитным толкателем, а между двумя камерами установлен вакуумный запорный клапан; Пользователь может загружать образцы в переходную камеру, одновременно выполняя распыление в основной камере, и выполнять предварительную вакуумную откачку. После завершения распыления в основной камере образец может быть помещен в отсек для образцов основной камеры с помощью магнитного толкателя. Такая конструкция позволяет сократить время откачки вакуума в основной камере, что не только эффективно экономит время, но и обеспечивает лучший локальный вакуум и эффективно улучшает качество покрытия.