Высоковакуумный 4-дюймовый магнетронный распылитель с тремя мишенями для нанесения покрытия на пленку из карбида кремния

Магнетронный распылитель с тремя мишенями может использоваться для получения однослойных или многослойных сегнетоэлектрических тонких пленок, проводящих тонких пленок, тонких пленок из сплавов и т.д. По сравнению с аналогичным оборудованием, магнетронный распылитель с тремя мишенями не только широко используется, но и обладает преимуществами небольших размеров и простоты в эксплуатации. Это идеальное оборудование для получения тонких пленок материалов в лабораторных условиях. Устройство для нанесения магнетронного напыления с тремя мишенями - это экономичное оборудование для нанесения покрытий с помощью магнетронного напыления, независимо разработанное нашей компанией и обладающее характеристиками стандартизации, модульности и индивидуализации. Диаметр магнетронной мишени составляет 4 дюйма, и клиенты могут выбрать ее в зависимости от размера наносимой подложки; источником питания являются три радиочастотных источника питания мощностью 500 Вт, которые могут использоваться для получения тонких неметаллических пленок, а три мишени могут удовлетворить потребности многослойных или множество покрытий.