• Под заказ
Оборудование для нанесения покрытий магнетронным напылением с одной мишенью
search
  • Оборудование для нанесения покрытий магнетронным напылением с одной мишенью

Оборудование для нанесения покрытий магнетронным напылением с одной мишенью

5 650 000,00 ₽
12 недель

Данное оборудование используется для получения однослойных или многослойных сегнетоэлектрических тонких пленок, проводящих пленок, пленок из сплавов, полупроводниковых пленок, керамических пленок, диэлектрических пленок, оптических пленок и т.д.

Количество
Под заказ

Данная установка оснащена источником питания постоянного тока и радиочастотным источником питания.  Мощность колеблется от 500 Вт до 1000 Вт. По сравнению с обычным плазменным распылением магнетронное распыление обладает преимуществами высокой энергии,высокой скорости, высокой скорости осаждения и низкого повышения температуры образца. Мишень магнетрона снабжена промежуточной прослойкой с водяным охлаждением. Охладитель воды может эффективно отводить тепло и избегать его накопления на  поверхность мишени, так что магнетронное покрытие может стабильно работать в течение длительного времени.

Вся машина управляется с помощью сенсорного экрана и встроенной программы нанесения покрытия одной кнопкой, которая проста в эксплуатации и является идеальной  оборудование для получения тонких пленок в лаборатории.

PVD-150-M1

Характеристики

Мощность
6 кВт
Скорость вращения центрифуги
1-20 Об/Мин
Диаметр обрабатываемых образцов
150mm
Тип вакуумного насоса
Молекулярная Насосная Система, Перекачивающая 600Л/С
Габаритные размеры
1090мм Х 900мм Х 1250мм
Вес
350 кг
Электропитание
AC220V, 50 Гц
Рабочая температура
500 ℃ Макс.
Размер камеры
300mm X 340mm H
Контроль температуры
±1℃
Количество распылительных головок
1
Охладитель воды
10Л/мин с циркуляционным водяным охлаждением
Режим охлаждения
Водяное Охлаждение, Требуется Расход 10 Л/Мин
Смотровое окошко
Φ100 Мм
Режим открывания
Открытый Тип, Легко Заменяемая Мишень
Предельная степень вакуума
5x10- 4 Па
Регулятор расхода газа
Одноканальный, 200 Куб. См Ar
Измеритель толщины кварцевой вибрирующей пленки
Один Комплект, Разрешение 0,10 Ангстрема
Источник питания постоянного тока для распыления
500 Вт-1000 Вт, подходит для приготовления металлических пленок
Радиочастотный источник питания для распыления
500 Вт-1000 Вт, подходит для неметаллических пленок
Режим работы
"Все в одном компьютере"
Материал вакуумной камеры
SUS
Комментарии (0)
Еще нет отзывов.

В этой категории 16 товаров: