Оборудование для химического осаждения из паровой фазы с улучшенной плазмой

Параметры

Максимальная нагрузка на трубу - 384 предмета/лодка (125*125) / 336 предметов/лодка (156*156)

Индекс процесса - ± 3% в таблетке, ± 3% между таблетками, ± 3% между порциями

Рабочая температура - 200~500℃

Точность и протяженность температурной зоны (статический тест в закрытой трубе) - 1200mm±1℃

Точность подачи газа - ±1%FS

Герметичность системы воздушного контура - 1×10-7Pa.m³/SК

Контроль - Полностью импортная автоматическая система регулирования давления с замкнутым контуром, точный контроль реактивного вакуума; Высокочастотный источник питания частотой 40 кГц; Мягкая посадка плавсредства; Полностью цифровое управление, совершенная и безопасная защита управления технологическим процессом.

1 труба, 2 трубы, 3 трубы и 4 трубы являются дополнительными; Автоматический погрузочный манипулятор является дополнительным, а производительность оборудования и производительность технологического процесса могут быть сопоставимы с лучшим аналогичным оборудованием в мире.