Оборудование для CVD-обработки материалов из графена и углеродных нанотрубок

Основные параметры

Структура - Горизонтальное, однотрубное или многотрубное автоматическое управление системой

Адаптация к размеру подложек - 2-8"

Способ загрузки и извлечения пластин - Автоматическая консольная кварцевая двухтактная лодка в сочетании с ручным отбором и выпуском стружки.

Максимальная температура - 1050℃

Рабочая температура - 400 ℃ ~ 850 ℃ с плавной регулировкой

Стабильная температура в одной точке - 400℃~850℃≤±0.5℃/ 24 часа

Предельный вакуум в системе - Больше, чем 1Pa

Скорость перекачки - Время откачки для ограничения вакуума ≈ 15 минут

Диапазон рабочих давлений - Плавная регулировка от 5Па до 1 × 105Па

Источник питания - 3-фазный 5-проводный 380 В±10%, 50 Гц

Охлаждение водой - 2~ 4 кгс/см2, 8л/мин;