- Под заказ
Цена товара указана в диапазоне от 2000000 руб. Точную цену уточняйте через форму обратной связи или почту.
Установка представляет собой высоковакуумную печь быстрого отжига RTP, нагреваемую галогенной лампой, и может использоваться для быстрого термического отжига, быстрого термического окисления, быстрого термического азотирования, силицирования, диффузии, отжига полупроводниковых соединений, отжига после ионной имплантации, легирования электродов, кристаллизации и уплотнения, анализа температуры плавления сплавов, пленочного осаждение и т. д